6月24日，全国科技大会、国家科学技术奖励大会和两院院士大会在北京人民大会堂隆重召开。会上，浙资运营所属浙创投投资企业华海清科和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，华海清科董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。

化学机械抛光（CMP）是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺，华海清科以清华大学科技成果转化的CMP技术成果为基础，进行CMP装备产业化应用的核心技术研发，率先推出国内首台拥有自主知识产权12英寸CMP装备，实现了国内市场CMP装备领域的国产化。华海清科持续加大自主研发力度，推出多款CMP商业化机型，并依托稳定的性能和良好的售后服务优势，批量进入行业知名芯片制造企业，国内市场占有率达到较高水平。

国家技术发明奖是我国在科学技术领域的最高奖项之一。本次获奖，既是对华海清科核心研发团队在CMP领域技术创新成果的充分肯定，也是对华海清科长期推动CMP装备国产化的高度褒奖。

2020年，浙创投完成了对华海清科的投资。作为浙资运营旗下的科创投资主体，浙创投肩负着打造高能级科创投资平台的重任，坚守服务科创型实体经济的使命担当，重点关注早期、初创期、硬核科技项目，助推科技成果转化，助力新质生产力发展。

来源 | 浙创投